![](/wp-content/uploads/Sorter-EFEM/Sorter-EFEM_icon1.png)
多功能定制
适用于各种布局(2~10个负载端口)
200/300mm晶圆分拣机功能
根据客户要求定制软件和功能
![](/wp-content/uploads/Sorter-EFEM/Sorter-EFEM_icon2.png)
快速交货
标准产品新货供应
本地制造商配合,快速交货
![](/wp-content/uploads/Sorter-EFEM/Sorter-EFEM_icon3.png)
售后服务快速响应
本地技术和服务团队快速响应
![](/wp-content/uploads/2021/09/1-HHWS-2LP1T-11_Large.png)
HHWS-2LP1T-11
![](/wp-content/uploads/2021/09/2-HHWS-2LP-12W_Large.png)
HHWS-2LP-12W
![](/wp-content/uploads/2021/09/3-HHWS-3LP-11_Large.png)
HHWS-3LP-11
![](/wp-content/uploads/2021/09/4-HHWS-8LP_Large.png)
HHWS-8LP
HHWS-2LP1T-11
产品图片
分拣机图纸
![](/wp-content/uploads/2024/03/1-1-HHWS-2LP1T-11_LeftView.png)
左视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/1-2-HHWS-2LP1T-11_RightView.png)
右视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/1-3-HHWS-2LP1T-11_TopView.png)
俯视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/1-4-HHWS-2LP1T-11_MainView.png)
主视图
规格
清洁度 | Class 1 | ||
机器人 | 型号 | Hirata AR-Wn180CL-4-T-330-2-x424 | |
重复性 | ±0.1mm | ||
调整器 | 型号 | Hirata KWA-12-E-A064 | |
校准时间 | 小于3.5秒 | ||
加工精度 | X轴/Y轴 | ±0.05 mm | |
W轴 | ±0.03度 | ||
装载端口 | Hirata KWF-12F3-M / Hirata KWF-12F3-M-R(旋转) | ||
翻转 | HHTV | ||
可选 | 晶圆ID读卡器/机器人自动示教功能/加载端口卡式RFID读卡器 | ||
直通 | 280WPH(带OCR) | ||
重量 | 650 公斤 |
HHWS-2LP-12W
产品图片
分拣机图纸
![](/wp-content/uploads/2024/03/2-1-HHWS-2LP-12W_LeftView.png)
左视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/2-2-HHWS-2LP-12W_RightView.png)
右视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/2-3-HHWS-2LP-12W_TopView.png)
俯视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/2-4-HHWS-2LP-12W_MainView.png)
主视图
规格
清洁度 | Class 1 | ||
机器人 | 型号 | Hirata AR-Wn180CL-4-T-330-2-x424 | |
重复性 | ±0.1mm | ||
调整器 | 型号 | Hirata KWA-12-E-A064 | |
校准时间 | 小于3.5秒 | ||
加工精度 | X轴/Y轴 | ±0.05 mm | |
W轴 | ±0.03 度 | ||
装载端口 | Hirata KWF-12F3-M / Hirata KWF-12F3-M-R(旋转) | ||
翻转 | HHTV | ||
可选 | 晶圆ID读卡器/机器人自动示教功能/加载端口卡式RFID读卡器 | ||
直通 | 280WPH(带OCR) | ||
重量 | 650公斤 |
HHWS-3LP-11
产品图片
分拣机图纸
![](/wp-content/uploads/2024/03/3-1-HHWS-3LP-11_LeftView.png)
左视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/3-2-HHWS-3LP-11_RightView.png)
右视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/3-3-HHWS-3LP-11_TopView.png)
俯视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/3-4-HHWS-3LP-11_MainView.png)
主视图
规格
清洁度 | Class 1 | ||
机器人 | 型号 | Yaskawa G124V | |
重复性 | ±0.1mm | ||
调整器 | 型号 | TAZMO MAF-AAPN | |
校准时间 | 小于4.5秒 | ||
加工精度 | XY方向(居中) | ±0.1 mm或更小 | |
T方向(缺口) | ±0.03 度 | ||
装载端口 | TDK:TAS-300 TYPE-J1 | ||
可选 | 晶圆ID读卡器/机器人自动示教功能/加载端口卡式RFID读卡器 | ||
直通 | 300WPH(带OCR) | ||
900WPH(不带调整器) | |||
重量 | 600公斤 |
HHWS-8LP
产品图片
分拣机图纸
![](/wp-content/uploads/2024/03/4-1-HHWS-8LP_LeftView.png)
左视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/4-2-HHWS-8LP_RightView.png)
右视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/4-3-HHWS-8LP_TopView.png)
俯视图
![](/wp-content/uploads/2024/03/4-4-HHWS-8LP_MainView.png)
主视图
规格
清洁度 | Class 1 | ||
机器人 | 型号 | Yaskawa G124E | |
重复性 | ±0.1mm | ||
调整器 | 型号 | Yaskawa PER1130 | |
校准时间 | 小于5秒 | ||
加工精度 | XY方向 | ±0.1 mm或更小 | |
T方向 | ±0.01 度或更小 | ||
装载端口 | TDK:TAS-300 J1 |